半导体行业中晶圆切割工艺中液体质量的监测
2015/9/1 9:19:08当切割晶片时，一种特殊的处理液会用于冷却工作时的的锯片，来润滑和移除产生的颗粒。为了让锯片和研磨盘的润湿达到最优状态，在处理液中要必须加入表面活性剂。目前为止，在监测表面活性剂浓度时出现了很多问题。处理液的样品如果送到外面的实验室，会产生高的成本，而且得到测量结果和从实验室拿到这个结果也会有时差。所以，快速的表面活性剂浓度的矫正无法达成。SITA测量技术有限公司的创新性气泡压力法表面张力仪会在每一个应用领域帮助您找到优化的解决方法。所有的表面张力仪可以让动态表面张力的测量简单并快速，量化数据呈现液体的表面活性剂浓度。SITA表面张力仪可以在短短几秒钟完成测量，所以我们可以将实际值和期望值迅速的作比较。这样在产生偏差的情况下，可以及时的找到解决方法。
在此应用领域中，SITA t15和过程监控系统SITA ST是最合适的测量仪器。SITA t15的体积小，轻便，但却是很精确的，可与实验室设备的测量精度相媲美的手持式表面张力仪，因此可以轻易和快速的进行随机测试来获得适当的于极限值对比的测试结果。
动态表面张力和表面活性剂浓度的关系
内部存储设置可以储存多达25个测量结果。集成的USB端口可以将数据传输到电脑上，电脑也可以作为一个外接电源。运行时间可达十小时的充电电池也能通过USB端口充电。SITA t15非常人性化，所以操作此仪器不需要任何专业知识。测量仪器的所有功能可以直观的从按键上看出来。对于某些应用，抽检表面活性剂浓度值的随机测验结果是不够的,这时在线表面张力监控系统SITAST为用户的需求提供个体化的解决方案。系统定期的集中测量晶圆切割时处理液的表面张力并自动地将其与所需值作比较。一旦获得低于或超出规定值的测量结果，机器就会发出警告信号。因此，当溶液浓度不再符合理想浓度时，我们能在短时间内做出反应。不仅如此，我们不再需要专门监控处理液质量的员工。
SITAST在线表面张力仪
